國立東華大學 電機工程學系 課程綱要

中文科目名稱

半導體實驗

英文科目名稱

Semiconductor Laboratories

班 別

科目代碼

學分數

3

時 數

3

一•課程目標：

期使學生對潔淨室環境及半導體基本製成有所瞭解

　

二•資源需求評估：(師傅專長之聘任，儀器設備的配合…等)

潔淨室、清洗槽、氧化爐、擴散爐、微影設備、化學設備、電性量測設備等及研究生助教數名

　

　

　

三•先修課程：

半導體元件

四•課程綱要：(說明內容主要範疇)

  1. 潔淨室環境
  2. 液體清洗步驟
  3. 氧化
  4. 植入雜質
  5. 光罩技術
  6. 鍍金屬
  7. 腐蝕、蝕刻
  8. 金氧半場效電晶體及蕭特基二極體之實作流程

五•教學要求進行方式之建議：

六•其他：